下载一种吸盘、吸盘组件及承载设备的技术资料

文档序号:24960200

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本实用新型提供了一种吸盘、吸盘组件及承载设备,所述吸盘包括:吸盘本体、限位组件和吸嘴,限位组件包括限位柱、支撑杆和旋转轴,限位柱固定在支撑杆上,支撑杆固定在旋转轴上,旋转轴可旋转地设置在吸盘本体上,当吸盘靠近承载工装时,限位柱可以限制硅片距...
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