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一种吸盘、吸盘组件及承载设备制造技术
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下载一种吸盘、吸盘组件及承载设备的技术资料
文档序号:24960200
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本实用新型提供了一种吸盘、吸盘组件及承载设备,所述吸盘包括:吸盘本体、限位组件和吸嘴,限位组件包括限位柱、支撑杆和旋转轴,限位柱固定在支撑杆上,支撑杆固定在旋转轴上,旋转轴可旋转地设置在吸盘本体上,当吸盘靠近承载工装时,限位柱可以限制硅片距...
该专利属于宁夏隆基乐叶科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁夏隆基乐叶科技有限公司授权不得商用。
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