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本实用新型公开了一种光伏扩散在线自动化设备，包括第一工作模块和第二工作模块，第一工作模块包括第一框架、对接输送机和石英舟搬运机构，第二工作模块包括第二框架、石英舟周转机构、抱片机构、倒片机构、分合片机构和装卸料机构。本实用新型具有稳定性好、...
该专利属于拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司授权不得商用。

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