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本实用新型公开了氢氟酸原料室,包括仓储间和排气系统,仓储间内设置有若干氢氟酸监测报警器,仓储间的两个相对的墙壁上各设置有一个进出口,在进出口的顶部设置有密封卷帘门,排气系统的排气管设置于仓储间的屋顶中;仓储间的地面中设置有一圈凹槽,凹槽的顶...该专利属于昆山晶科微电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过昆山晶科微电子材料有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了氢氟酸原料室,包括仓储间和排气系统,仓储间内设置有若干氢氟酸监测报警器,仓储间的两个相对的墙壁上各设置有一个进出口,在进出口的顶部设置有密封卷帘门,排气系统的排气管设置于仓储间的屋顶中;仓储间的地面中设置有一圈凹槽,凹槽的顶...