下载一种用于铌酸锂基声表面波器件的水冷平台、水冷散热装置及其使用方法的技术资料

文档序号:24947416

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本发明公开了用于铌酸锂基声表面波器件的水冷平台,水冷平台包括由上至下依次设置的上盖板、热电偶支撑层、隔板、散热层和下基板,水冷平台包括设置在中心的聚焦区和设置在聚焦区外围的外围区;热电偶支撑层上设有与聚焦区对应设置的聚焦区热电偶和与外围区对...
该专利属于天津大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学授权不得商用。

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