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一种半导体检测装置及其检测方法，半导体检测装置包括：晶圆承载装置；电晕放电系统，用于对待检测晶圆表面进行电晕喷电；电荷检测系统，用于检测待检测晶圆表面沉积的正离子或负离子的电荷量；入射光系统，用于向待检测晶圆发射第一入射光，第一入射光经待检...
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