下载一种坩埚出料装置及其控制方法的技术资料

文档序号:24934517

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本发明提供了一种坩埚出料装置,所述坩埚出料装置包括出料管道、移动机构,及与移动机构相连接的驱动机构,所述驱动机构用于为移动机构提供驱动力,所述移动机构包括支撑架及移动件,所述移动件设置在支撑架内,所述移动件与出料管道及驱动机构相连接,所述移...
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