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本申请涉及气相沉积领域,具体而言,涉及一种用于气相掺杂的稀土螯合物原料气的制备方法、稀土掺杂光纤预制棒及其制备方法。包括:将载气与稀土螯合物颗粒接触使稀土螯合物颗粒处于流化态,并且加热使流化态的稀土螯合物颗粒逐步升华得到稀土螯合物原料气。处...该专利属于中国工程物理研究院激光聚变研究中心所有,仅供学习研究参考,未经过中国工程物理研究院激光聚变研究中心授权不得商用。
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本申请涉及气相沉积领域,具体而言,涉及一种用于气相掺杂的稀土螯合物原料气的制备方法、稀土掺杂光纤预制棒及其制备方法。包括:将载气与稀土螯合物颗粒接触使稀土螯合物颗粒处于流化态,并且加热使流化态的稀土螯合物颗粒逐步升华得到稀土螯合物原料气。处...