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本发明公开了一种具有高承载能力的超高精度五维运动调节装置，涉及精密调节技术领域。本发明包括基于X向的前后平移机构、基于Y向的左右平移机构、基于θZ向的旋转机构、基于θX向或θY向的摆动机构、基于Z向的升降机构、整体行走机构；第一高精度滚珠丝...
该专利属于上海联谊光纤激光器械有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海联谊光纤激光器械有限公司授权不得商用。

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