下载伸缩式多晶硅铸锭炉侧部加热器的技术资料

文档序号:24904580

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本实用新型公开了一种伸缩式多晶硅铸锭炉侧部加热器,它包括底座,底座上方设置有第一石墨加热板,第一石墨加热板与第二石墨加热板、第三石墨加热板和第四石墨加热板之间通过与转角处的连接板铰接,首尾相连形成闭环的正方形框架结构;第一石墨加热板由相互铰...
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