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电场吸收型调制器、光半导体装置及光模块制造方法及图纸
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下载电场吸收型调制器、光半导体装置及光模块的技术资料
文档序号:24896695
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目的在于得到温度依赖性小、可靠性优异的电场吸收型调制器。本发明的电场吸收型调制器(16)形成于InP基板(1),通过被施加的电压对入射光(33)进行调制,其特征在于,具有光吸收层(5),该光吸收层(5)通过由被施加的电压产生的电场对入射光(...
该专利属于三菱电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三菱电机株式会社授权不得商用。
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