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本实用新型属于宝石抛光技术领域，特别涉及一种超声电化学机械抛光蓝宝石衬底材料的装置，包括抛光盘、抛光头，蓝宝石衬底材料固定于抛光头的底部，抛光盘上表面为抛光垫，抛光盘、抛光头分别经由第一直线电机、第二直线电机带动转动；还设有用于产生超声脉冲...
该专利属于南昌大学所有，仅供学习研究参考，未经过南昌大学授权不得商用。

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