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本实用新型公开了一种用于薄板类工件加工的载盘装置，包括载盘主体，载盘主体的内部形成有密封腔，且密封腔还连接于外部负压装置，载盘主体的上侧面上划分有一供薄板类工件放置的加工区域，加工区域中开设有多条分别沿第一方向延伸的长条状第一气道、及多条分...
该专利属于昆山市佰瑞精密机械零组件有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山市佰瑞精密机械零组件有限公司授权不得商用。

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