下载成像入射角跟踪器的技术资料

文档序号:24896029

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一种成像入射角跟踪装置,包括:光源;第一和第二分束器或二向色镜;以及位置灵敏探测器;其中所述第一和第二分束器或二向色镜配置为将来自所述光源的光通过物镜引导至窗口表面;所述第一和第二分束器或二向色镜还配置为将从所述窗口表面反射并穿过所述物镜的...
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