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用于独立单晶机械和光学部件生产的单晶金刚石零件生产方法技术
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下载用于独立单晶机械和光学部件生产的单晶金刚石零件生产方法的技术资料
文档序号:24895841
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本发明涉及独立单晶金刚石零件和单晶金刚石零件生产方法。该方法包括以下步骤:‑设置单晶金刚石基板或层;‑在基板或层上设置第一附着层;‑在第一附着层上设置第二附着层;‑在第二附着层上设置掩模层;‑穿过掩模层以及第一和第二附着层形成至少一个凹陷或...
该专利属于洛桑联邦理工学院所有,仅供学习研究参考,未经过洛桑联邦理工学院授权不得商用。
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