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本实用新型公开了一种密闭环境下的三坐标移载定位系统,属于一种钛粉生产设备;其技术方案要点是包括设于炉体内的支撑架以及定位组件;定位组件包括滚珠丝杠、横向螺纹杆、竖向螺纹杆以及伺服电机;滚珠丝杠的两端设有固定板,使滚珠丝杠能够沿着自身的轴线转...该专利属于北京北方华创真空技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京北方华创真空技术有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种密闭环境下的三坐标移载定位系统,属于一种钛粉生产设备;其技术方案要点是包括设于炉体内的支撑架以及定位组件;定位组件包括滚珠丝杠、横向螺纹杆、竖向螺纹杆以及伺服电机;滚珠丝杠的两端设有固定板,使滚珠丝杠能够沿着自身的轴线转...