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本发明公开了一种PMOS和NMOS的集成结构,PMOS具有第一栅极结构,NMOS具有第二栅极结构;第一栅极结构包括栅介质层、第一功函数层和金属栅;第二栅极结构包括栅介质层、第二功函数层和金属栅;第一功函数层由第一镍层组成;第二功函数层由镍钽...该专利属于上海华力集成电路制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华力集成电路制造有限公司授权不得商用。
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