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一种基于反应性膜的互连方法技术
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文档序号:24891855
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本发明提供了一种基于反应性膜的互连方法,包括:S1:混合金属纳米材料的反应前驱体、刻蚀剂,还原剂、包被剂、溶剂,获得单相反应性溶液;S2:将单相反应性溶液涂布在柔性衬底表面,形成单相反应性膜;S3:加热所述单相反应性膜,获得反应性膜;所述反...
该专利属于深圳第三代半导体研究院所有,仅供学习研究参考,未经过深圳第三代半导体研究院授权不得商用。
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