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本发明涉及一种长晶设备降噪的隔音装置，隔声软帘由若干个隔声单元采用隔音棉错缝粘接而成，根据单个隔音单元5侧边形状使用树脂密封胶粘接隔音单元侧边，使其紧密无缝隙连接，根据设备尺寸大小，软帘内层缝隙填入隔音棉6填充，并粘接在隔音单元周围，隔声软...该专利属于哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司授权不得商用。