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光调制装置以及光调制装置的制备方法制造方法及图纸
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文档序号:24887509
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本发明公开了一种光调制装置以及光调制装置的制备方法,光调制装置包括:依次间隔设置的第一基板、第二基板和第三基板,第一基板包括第一衬底以及与第一衬底连接的第一电极层,第一衬底包括第一连接部,第二基板包括第二衬底以及与第二衬底连接的第二电极层,...
该专利属于上海天马微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海天马微电子有限公司授权不得商用。
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