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多集成尖端扫描探针显微镜制造技术
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文档序号:24886886
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用于使用多集成尖端扫描探针显微镜检查来表征样本的装置和系统。多集成尖端(MiT)探针由定位到彼此nm内的两个或更多个整体集成的且可移动的AFM尖端组成,使得能够在真空或周围条件下进行前所未有的微尺度到纳米尺度的探针功能。尖端结构与电容式梳状...
该专利属于沙朗特有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过沙朗特有限责任公司授权不得商用。
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