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本发明公开了一种气体氟化物的红外光谱定量分析方法。其包括：①氟化物制备中，对不同反应时间所得气体，进行红外光谱检测；②t为横坐标，单位压力吸光度为纵坐标，获得单位压力吸光度变化曲线；③单位压力吸光度相对t进行积分得积分面积；④重复①‑③，制...
该专利属于中国科学院上海应用物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海应用物理研究所授权不得商用。

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