下载一种微焦斑光源参数测量透镜、以及测量系统和方法的技术资料

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本公开披露一种微焦斑光源参数测量透镜、以及测量系统和方法,该系统包括:X射线聚焦镜,设置于待测量的X射线光源之后,并使所述X射线在其中进行单次全反射;X射线探测器,设置于所述X射线聚焦镜之后,配置有用于调节器件同轴的多维度调节架;所述X射线...
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