下载一种并行彩色共聚焦三维形貌光学测量系统的技术资料

文档序号:24885525

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本发明涉及一种并行彩色共聚焦三维形貌光学测量系统,其特征在于,包括:从上至下依次排列的复色光源、分光模块、色散模块、载物模块以及位于分光模块一侧的成像模块,被测物位于色散模块和载物模块之间,复色光源发出的复色光经分光模块分光后传播至色散模块...
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