下载一种线白光表面轮廓测量方法的技术资料

文档序号:24885521

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本发明涉及一种线白光表面轮廓测量方法,在成像光路中设置狭缝光阑,透过狭缝只有一个长方形的光条照射到被测样本上,在狭缝光阑作用下CCD摄像机拍摄到的图像仅有中间一个长方形白带,其他部分为黑色。当测量系统测量时产生的干涉图像被狭缝光阑截断,在长...
该专利属于天津大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学授权不得商用。

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