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本发明公开了一种基于MAU和DCC的半导体洁净室恒温恒湿控制系统和控制方法，系统包括MAU室外新风湿度处理单元、DCC室内回风温度处理单元以及中控单元，控制系统通过设置不同的传感器和调节阀进行信号实时采集和控制，MAU空调箱以室内需求的温度...
该专利属于上海碳索能源服务股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海碳索能源服务股份有限公司授权不得商用。

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