下载一种透明彩色碳化硅多晶板的制备方法的技术资料

文档序号:24882741

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本发明公开了一种透明彩色碳化硅多晶板的制备方法,通过使用图形化碳化硅单晶或多晶衬底片,将衬底背面固定在石墨坩埚顶部上盖内侧,石墨坩埚底部放入碳化硅原料,将石墨坩埚放入高温生长炉中,使石墨坩埚底部位于高温区,顶部位于较低温度区,从而在石墨坩埚...
该专利属于南通大学所有,仅供学习研究参考,未经过南通大学授权不得商用。

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