下载平面锂靶材组件的制造方法和设备的技术资料

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公开了一种平面锂靶材组件的制造方法和设备。平面锂靶材组件的制造方法包括:提供锂靶坯和背板,所述锂靶坯具有第一主表面和与第一主表面相反的第一背面,所述背板具有第二主表面和与第二主表面相反的第二背面;将所述锂靶坯的第一主表面与所述背板的第二主表...
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