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本实用新型提供一种真空热重装置,包括由上自下依次相连的一顶盖、一炉腔和一质量监测模块,所述顶盖与一真空系统连接,所述炉腔上套设有一炉体,所述炉体内设有一加热器,炉体与一电机升降模块通过固定螺栓固定连接,所述质量监测模块上设有固定于其上的托盘...该专利属于中国科学院上海应用物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海应用物理研究所授权不得商用。
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本实用新型提供一种真空热重装置,包括由上自下依次相连的一顶盖、一炉腔和一质量监测模块,所述顶盖与一真空系统连接,所述炉腔上套设有一炉体,所述炉体内设有一加热器,炉体与一电机升降模块通过固定螺栓固定连接,所述质量监测模块上设有固定于其上的托盘...