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流量控制装置制造方法及图纸
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文档序号:24865665
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本发明提供一种流量控制装置(100),具备:压力控制阀(6),其设置于流路;流量控制阀(8),其设置在压力控制阀的下游侧;以及第一压力传感器(3),其对压力控制阀的下游侧且流量控制阀的上游侧的压力进行测定,流量控制阀具有:离接于阀座(12)...
该专利属于株式会社富士金所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社富士金授权不得商用。
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