下载流量控制装置的技术资料

文档序号:24865665

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本发明提供一种流量控制装置(100),具备:压力控制阀(6),其设置于流路;流量控制阀(8),其设置在压力控制阀的下游侧;以及第一压力传感器(3),其对压力控制阀的下游侧且流量控制阀的上游侧的压力进行测定,流量控制阀具有:离接于阀座(12)...
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