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本发明涉及声电转换的技术领域，提供了一种压电式MEMS麦克风，包括：具有背腔的基底和压电振膜，压电振膜包括悬置部和与基底连接的基底固定部，压电振膜还包括连接基底固定部和悬置部的支撑部，悬置部通过支撑部悬置于背腔上方，压电式MEMS麦克风还包...
该专利属于瑞声声学科技(深圳)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瑞声声学科技(深圳)有限公司授权不得商用。

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