下载一种用于制作高灵敏度水声换能器的敏感元件及其制备方法的技术资料

文档序号:24860102

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本发明涉及一种用于制作高灵敏度水声换能器的敏感元件及其制备方法。该敏感元件包括带基底的压电小柱阵列,以及固定安装在压电小柱阵列的上表面的金属板;所述压电小柱阵列中压电小柱之间的缝隙内填充空气。该制备方法包括:沿着X方向切割压电材料片;沿着Y...
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