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本发明公开了一种超导约瑟夫森结的制备方法，包括：在衬底上依次形成牺牲层和感光层；形成上沟道于感光层中，形成下沟道于牺牲层中，上沟道位于下沟道整体的上方且下沟道宽度大于上沟道宽度，通过上沟道和下沟道暴露出部分衬底，部分衬底包括第一区域和第二区...
该专利属于合肥本源量子计算科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥本源量子计算科技有限责任公司授权不得商用。

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