下载一种双极型可见光探测器及其制备方法的技术资料

文档序号:24859918

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本发明涉及一种双极型可见光探测器及其制备方法,双极型可见光探测器包括衬底、外延层、沉积的金属电极,外延层按照自下而上的生长顺序依次为成核层、过渡层、Si掺杂n型GaN下欧姆接触层、Si掺杂n型Al...
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