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本发明公开了一种具有圆角金字塔结构的单晶硅片及制备方法,主要涉及单晶制绒领域,包括预清洗、制绒、圆角化处理、氢氟酸清洗、慢拉提和烘干等步骤,其中在圆角化处理工序中,综合了硝酸CP和臭氧CP各自的特点;使用本发明的方案对制绒后的硅片进行金字塔...该专利属于中威新能源(成都)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中威新能源(成都)有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种具有圆角金字塔结构的单晶硅片及制备方法,主要涉及单晶制绒领域,包括预清洗、制绒、圆角化处理、氢氟酸清洗、慢拉提和烘干等步骤,其中在圆角化处理工序中,综合了硝酸CP和臭氧CP各自的特点;使用本发明的方案对制绒后的硅片进行金字塔...