下载SONOS存储器件的制备方法及SONOS存储器件的技术资料

文档序号:24859703

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本申请公开了一种SONOS存储器件的制备方法及SONOS存储器件,属于集成电路制造技术领域。通过本申请提供的制备方法制备得到的SONOS存储器件,由于两个相对设置的L型ONO层共用位线,且位于外侧的选择管栅靠近SONOS存储器件的源端,因此...
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