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文档序号:24850791

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本发明提供一种阵列波导光栅自动对准加工方法、设备及存储介质,其中,设备包括机架、工作台、影像采集机构、阵列波导光栅第一器件上料机构、阵列波导光栅第二器件调整机构;工作台安装于机架,且工作台底部设有工控机;第一器件上料机构包括安装于工作台并与...
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