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本实用新型涉及一种真空溅射镀膜设备的基板抓取装置，真空吸盘固定在滑块上，滑块通过滚珠丝杆和导轨配合与机器人手臂连接，滚珠丝杆与小型伺服电机连接，真空接口使用软管与真空源连接，测距传感器安装于吸盘旁边。工作方法包括：1）机器人手臂处于测距位置...该专利属于南京中电熊猫液晶材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京中电熊猫液晶材料科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及一种真空溅射镀膜设备的基板抓取装置，真空吸盘固定在滑块上，滑块通过滚珠丝杆和导轨配合与机器人手臂连接，滚珠丝杆与小型伺服电机连接，真空接口使用软管与真空源连接，测距传感器安装于吸盘旁边。工作方法包括：1）机器人手臂处于测距位置...