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本实用新型提供了一种多晶硅打磨处理装置，包括有磨具，所述磨具包括多个磨轮组，所述磨轮组自多晶硅两侧边缘向中央且以左右交替渐进的顺序与多晶硅接触，打磨多晶硅的表面。本实用新型具有负载可调、多晶硅表面打磨厚度均匀、减少磨轮打磨边缘线的痕迹、增加...
该专利属于江苏众鑫磁电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏众鑫磁电有限公司授权不得商用。

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