下载一种蓝宝石晶体生长用坩埚固定及坩埚盖自支撑结构的技术资料

文档序号:24841994

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本发明涉及一种蓝宝石晶体生长用坩埚固定及坩埚盖自支撑结构。该结构包括上隔热屏、坩埚盖、坩埚盖支撑杆、坩埚、坩埚固定杆、驱动电机、发热体、钨盘和钨柱。坩埚固定杆和坩埚盖支撑杆均为钨棒加工而成,设置在坩埚周围。该结构通过驱动电机控制坩埚固定杆能...
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