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本实用新型涉及一种片盒清洗槽，包括清洗槽本体、支架、电动机、转轴、丝杆、滚珠螺母副、滑块、喷头、过滤网和泵体，集水槽设置在清洗槽本体底端，清洗腔与集水腔接触面设置有漏水孔，过滤网设置在集水槽内部靠上部位置，泵体设置在集水槽内靠下部位置，转轴...
该专利属于苏州晶淼半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州晶淼半导体设备有限公司授权不得商用。

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