下载单片化工件的对准的技术资料

文档序号:24836420

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一种用于支撑和对准多个单片化工件的工件支撑组件,包括组件主体和安装在该组件主体上的多个支撑构件,在使用中每个支撑构件支撑工件,每个支撑构件包括:安装在所述组件主体上的基底,用于将工件支撑在其上的头部单元,以及用于使所述头部单元相对于所述基底...
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