下载带有肖特基结型场板的高电子迁移率晶体管的技术资料

文档序号:24824032

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本实用新型涉及一种带有肖特基结型场板的高电子迁移率晶体管,在衬底的上表面固定有缓冲层,在缓冲层的上表面固定有势垒层,在势垒层的上表面固定有源极金属、第一钝化层、P型栅极、肖特基结型场板、第二钝化层与漏极金属,第一钝化层的右端部分延伸到P型栅...
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