下载一种用于处理弹夹式产品的等离子体处理装置的技术资料

文档序号:24823941

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本实用新型涉及一种用于处理弹夹式产品的等离子体处理装置,包括主体框架、真空组件、传输组件、弹夹,所述传输组件的数量为一组,每个所述传输组件分别设置在所述主体框架的两端;所述真空组件设置在所述主体框架上,所述真空组件包括真空腔、电极、抽真空接...
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