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本发明涉及一种ＳｉＣ合成炉气体收集系统及气体收集方法，所述气体收集系统包括放置在ＳｉＣ合成炉之上的用于气体收集的收集装置，用于移动收集装置的离合行走机构，设置在收集装置上的检测分析装置和均衡泄压装置，设置在ＳｉＣ合成炉炉体四周与收集装置接触...
该专利属于陕西西科博尔科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过陕西西科博尔科技有限责任公司授权不得商用。

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