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本实用新型公开了一种具有气流导向功能的沉积炉，内外壁待涂层的石墨筒放置在所述沉积炉的内部，石墨筒的底部通过支撑柱连接到炉底座；所述炉底座上设有喷嘴；喷嘴安装有气流导向装置以调控气流的喷射。其中，气流导向装置包括喷嘴盖、导向管、喷嘴座和分布板...
该专利属于江苏协鑫特种材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏协鑫特种材料科技有限公司授权不得商用。

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