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本实用新型公开了一种托盘传送机构，它安装在真空腔体内，它包括：两组支撑底座，两组所述支撑底座间隔设置在所述真空腔体内；加热/冷却结构，所述加热/冷却结构设置于所述真空腔体内且支撑在所述支撑底座上；两排支撑单元，每排支撑单元包括间隔且对齐设置...
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