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干涉成像设备及其应用制造技术
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文档序号:24807899
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本文提供了设备和系统,包括:照明模块,其被配置用于向光学干涉模块提供源光,该光学干涉模块将所述源光转换成线光并处理光信号;干涉物镜模块,其操纵来自所述光学干涉模块的光并处理从样品生成的光信号;二维相机,其被配置用于接收来自所述样品的背向散射...
该专利属于安盟生技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安盟生技股份有限公司授权不得商用。
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