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本申请公开了一种软X射线光源，包括真空靶室、制冷腔和喷嘴，制冷腔和喷嘴容置于真空靶室内，喷嘴设置于制冷腔上，真空靶室包括三通管和多通管，三通管具有相对的第一出口、第二出口和第三出口，第一出口与支撑板连接，制冷剂入口管道、制冷剂出口管道以及工...
该专利属于苏州瑞派宁科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州瑞派宁科技有限公司授权不得商用。

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