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本发明公开了一种键合装置及键合方法。该键合装置包括芯片拾取单元和芯片传输单元；芯片拾取单元包括拾片手，拾片手用于拾取芯片，并将芯片传输到芯片传输单元；芯片传输单元包括键合手和至少两个子传输单元；至少两个子传输单元从拾片手获取芯片，并将芯片传...
该专利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备(集团)股份有限公司授权不得商用。

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