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本发明涉及一种波像差测量装置及其方法，用于测量待测投影物镜模块的波像差，包括设置在所述待测投影物镜模块两端的物面模块和像面模块；所述物面模块和所述像面模块均包括光栅标记及孔标记，利用孔标记透过的光束所获得的剂量校正光斑图对波像差测试图进行剂...
该专利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备(集团)股份有限公司授权不得商用。

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